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STACIS III压电主动式消振系统

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  • 产品/服务:

    型 号:STACIS III

    品 牌:tmc

    单 价:面议
    供货总量: 最小起订量:
    有效期至:长期有效 最后更新:2019-06-18
    发货期限:自买家付款之日起 30 天内发货 
产品详情
 STACIS III压电主动式消振系统 ,是主动式消振系统, 它装有惯性振动传感器, 精准的控制逻辑与高端技术的压电制动器。 STACIS® 可实时侦测地面振动, 再凭借压电晶体的收缩或膨胀即刻消除地面振动。

起初 STACIS® 是为微刻机,度量仪与半导体工业的检测而设计。如今已经成为不仅限于半导体产业,更是破坏分析,奈米产品研发制造,材料科学业界等最敏感精密仪器在吵杂环境中使用的标准消振设备。

STACIS® III相较于其前身的STACIS® ,它有新的控制系统-- DC-2020。其中有新的双核运算处理器。ETHERNET与USB接口于前后两面。这个先进的控制系统可直接由前端显示屏操作。在过往的千百个成功案例中,STACIS® III 系统不愧为大多数敏感精密仪器的主动式消振系统的选择.

由于刚性百倍优于其它的气垫式减振器,STACIS® 不受一般气垫式减振器所面临的稳定与过 大位移的能力限制。与气垫减振器不同的是它并无软性悬浮装 置,因此可以装置在已有内置气 垫减振系统的仪器下, 使得两个系统各发挥最大功效。

STACIS® 系统使用独特的串联方式与高强度的压电制动技术,使得它完胜于其它减振系统, 能在0.6赫兹到150赫兹的有效频段真正使用主动方式消振。 在2赫兹以上能消减90%的振幅量。

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